PVD · 粒子输运
相同的边缘分布，不同的到达模式。
揭示分别汇总各方向时被掩盖的角度依赖关系。
首次接触底部的比例
对角分布53.3%
反对角分布93.3%
差值 +40.0个百分点
数值与比较详情
差值 = 比较值 − 参考值。仅对显示值进行舍入，保留原始数据。
- 对角分布
- 53.333333333333336 %
- 反对角分布
- 93.33333333333333 %
相同的旋转结构。该比例以进入开口的入射群体为分母，并非沉积厚度。
01联合角分布
02结构取向
03接触与可观测性
打开完整图表 研究问题
两个角分布能否具有相同的两个坐标轴边缘分布，却在旋转后的结构上产生不同的首次接触分布？
研究方法
将九个方向上三种预设概率分布输入固定的首次接触几何模型。比较轴向对齐与旋转结构的响应，再逐步加入观测矩阵行，进行精确的有限基秩分析。
比较结果说明了什么
三个关键认识。
- 01
对角与反对角分布具有相同的完整坐标轴边缘分布。在轴向对齐、纵横比为 1 的结构中，两者的底部首次接触占比均为 66.67%。
- 02
旋转该结构后，两种响应分别变为 53.33% 和 93.33%。分母是以穿过开口为条件的入射粒子群。
- 03
累积观测矩阵的秩依次为 1、5、6、7、7、8、8 和 9。新增的两个信号是冗余的；增加观测并不总能增加独立信息。
证据、假设与下一步问题
完成了哪些数值检查
精确几何计算与秩的证明实例独立核查了已保存的有限模型。该封存单元在每种 Python 运行模式下均记录了 895 项确定性检查和 15 项损坏证据拒绝测试。
结果适用于什么范围
这是几何固定的预设九方向模型。首次接触不等于沉积厚度。有限基的秩不能证明连续角分布的唯一性、基于实测的腔室校准，或特定材料的生长行为。
下一步实物研究还需要什么
在利用这一思路推断真实工艺分布之前，需要结合探测器响应、角分辨率和配对实物测量。
SA-PROC-DEP-PVD-012 · Angular observability, unit 008 · 2026-10-02
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