HAR 刻蚀 · 可辨识性
相同边缘分布，也能呈现不同故事。
说明单独的角度分布与能量分布仍有哪些信息无法确定。
容许区间宽度
仅使用边缘分布15.00eV
增加一个联合观测6.25eV
差值 −8.75eV
数值与比较详情
差值 = 比较值 − 参考值。仅对显示值进行舍入，保留原始数据。
- 仅使用边缘分布
- 15 eV
- 增加一个联合观测
- 6.25 eV
每个入射粒子的能量。表示容许上下界之间的宽度，并非置信区间或刻蚀速率改善。
01分别给出的分布
02允许的联合概率表
03能量界限
打开完整图表 研究问题
仅凭分别给出的角度分布与能量分布，能推断多少到达底部的能量？
研究方法
一个深宽比为 10 的静态吸收沟槽采用三个角度类别和三个能量类别。通过精确的有限概率表界限比较所有允许的联合分布：先仅使用边缘分布，再加入一项假设性的联合单元格观测。
比较结果说明了什么
三个关键认识。
- 01
两个极值联合概率表均保留相同的 56.25% 直接到底计数占比和 60 eV 平均入射能量，但送达底部的能量仍然不同。
- 02
增加一项假设性的联合单元格观测后，每个入射粒子群成员的允许能量区间缩小为 32.5–38.75 eV。
- 03
独立性假设给出 33.75 eV，但其联合概率表不满足新增观测。一个标量值落在区间内，并不意味着其底层模型满足约束。
证据、假设与下一步问题
完成了哪些数值检查
三个有限案例中保存的六个优化极值，与独立的精确有理数顶点枚举、解析对照和原始／对偶证书一致。
结果适用于什么范围
采用合成的预设概率和静态首次接触几何。这些是允许范围的界限，不是置信区间。送达的入射粒子能量不等于刻蚀率、沉积热量、通量或材料产额。
下一步实物研究还需要什么
在预测特定材料的刻蚀行为之前，需要获取角度与能量的联合信息，并验证反射、充电、化学过程和几何演化模型。
SA-PROC-ETCH-HAR-011 · Angle-energy joint identification · 2026-09-27
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