ALD · 工艺推断
区分供给与反应。
连接入口历程、表面响应，以及未用于拟合的脉冲条件下的预测。
拟合的第二速率倍数
数值与比较详情
差值 = 比较值 − 参考值。仅对显示值进行舍入，保留原始数据。
- 模型真值
- 1
- 达到上限的拟合值
- 3
拟合值达到预设上限。该差值不能验证物理反应速率的有效性。
打开完整图表 研究问题
在什么情况下，推断出的反应速率会吸收错误输送模型或观测模型造成的偏差？
研究方法
一个无量纲水半反应模型比较单极点入口与有限储存效应。四个依据训练数据选定的拟合均采用单极点输送模型，观测方式分别为采集平均或刻意设错的点观测。另用两种未见过的脉冲历程检验预测。
比较结果说明了什么
三个关键认识。
- 01
在相同指令下，储存效应同时改变入口时间历程和输送总量。因此，较高的转化程度不能仅归因于时序。
- 02
以缓冲模型为真值时，第二个拟合速率达到设定上限 3。得到满足约束的解，并不意味着拟合机制在物理上正确。
- 03
以缓冲模型为真值并采用平均观测时，最差留出条件的缩放 RMSE 约为 0.1111。模型匹配、无噪声的恢复对照约为 9.83 × 10⁻¹²。这些是数值比较，并非传感器精度。
证据、假设与下一步问题
完成了哪些数值检查
保留的全部 909 条化学记录均通过独立的平衡与收支台账审查。独立公式表述与细化参考解为 23 组对照、真值和预测三元组提供了 69 项成对检查。
结果适用于什么范围
这是无量纲、无噪声、充分混合的半反应模型，壁面和传感器假设固定。转化程度不等于膜厚或每周期生长量。缩放 RMSE 不是百分比，也不是噪声估计。
下一步实物研究还需要什么
先独立测量特定物种的入口历程和采集响应，并保留配对运行的身份信息，再解释物理反应常数。
SA-PROC-ALD-TRANSIENT-002 · Delivery-buffer comparison, ALD016 · 2026-09-18
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