PVD · 粒子輸送
同じ周辺分布でも、到達パターンは変わる。
各方向を個別に要約すると見えなくなる、角度間の依存関係を示します。
底面への初回接触割合
数値と比較の詳細
差分 = 比較値 − 基準値。表示用に丸めています。元のデータは保持しています。
- 対角分布
- 53.333333333333336 %
- 反対角分布
- 93.33333333333333 %
同一の回転構造。開口への進入を条件とする入射集団に対する割合であり、堆積膜厚ではありません。
図全体を開く 研究の問い
両軸の周辺分布が等しい二つの角度分布でも、回転した構造への最初の接触は変わるのでしょうか？
アプローチ
9方向に定めた3種類の確率分布を、固定した幾何形状の初回接触モデルに入力します。軸に沿った構造と回転した構造の応答を比較し、観測行を追加して有限基底のランクを厳密に解析します。
比較からわかること
押さえておきたい三つのこと。
- 01
対角分布と反対角分布は、両軸の完全な周辺分布が共通です。軸に沿ったアスペクト比1の構造では、底面への初回接触割合はいずれも66.67%です。
- 02
構造を回転すると、二つの応答は53.33%と93.33%に分かれます。分母は、開口部への入射を条件とした粒子集団です。
- 03
観測を累積したときのランクは1、5、6、7、7、8、8、9です。追加した信号のうち二つは冗長で、観測を増やしても独立した情報が増えるとは限りません。
根拠、仮定、次の問い
数値的に確認したこと
厳密な幾何計算とランクの独立した検証により、保存された有限モデルを確認しました。封印済みの研究単位には、各Python実行モードで895件の決定論的チェックと15件の破損証拠の拒否テストを通過した記録があります。
結果を解釈できる範囲
9方向と固定した幾何形状を定めたモデルです。初回接触は堆積膜厚を意味しません。有限基底のランクでは、連続角度分布の一意性、実測によるチャンバー校正、材料固有の成長は示せません。
実際の物理研究に次に必要なもの
実際のプロセス分布の推定に用いる前に、検出器応答、角度分解能、対応をそろえた物理測定を結び付ける必要があります。
SA-PROC-DEP-PVD-012 · Angular observability, unit 008 · 2026-10-02
ダウンロードには、選定したグラフデータ、キャプション、再描画スクリプトが含まれます。元の記録とハッシュにより、公開図を完了済み研究の結果まで追跡できます。
研究支援 · 図版 · 原稿
研究の問いを、一貫した説明に。
文献や数値結果の整理、科学概念図や図版セットの制作、独自の表紙コンセプトの作成、それらを軸とした原稿の推敲をお手伝いします。