HARエッチング · 識別可能性
同じ周辺分布でも、異なる物語が見えてくる。
角度とエネルギーを別々の分布で見たとき、何が識別できないまま残るかを示します。
許容区間の幅
数値と比較の詳細
差分 = 比較値 − 基準値。表示用に丸めています。元のデータは保持しています。
- 周辺分布のみ
- 15 eV
- 結合観測を1つ追加
- 6.25 eV
入射粒子あたりのエネルギー。許容される上下限の幅であり、信頼区間やエッチング速度の改善を示すものではありません。
図全体を開く 研究の問い
角度とエネルギーの個別分布から、底面に届くエネルギーをどこまで推定できるのでしょうか？
アプローチ
深さと幅の比が10の静的な吸収トレンチモデルで、3つの角度区分と3つのエネルギー区分を用います。有限分布表の限界値を厳密に求め、条件を満たすすべての結合分布を比較します。まず周辺分布だけを用い、次に結合分布表の一つのセルに対する仮想的な観測を追加します。
比較からわかること
押さえておきたい三つのこと。
- 01
両極値の結合分布表は、底面へ直接到達する粒子数の割合56.25%と平均入射エネルギー60 eVを共通に保っています。それでも、底面に届くエネルギーは異なります。
- 02
結合分布表の一つのセルに対する仮想的な観測を加えると、許容範囲は入射粒子集団の1粒子当たり32.5–38.75 eVに狭まります。
- 03
独立性を仮定すると33.75 eVになりますが、その結合分布表は追加した観測に違反します。スカラー値が範囲内にあっても、背後にあるモデルが許容されるとは限りません。
根拠、仮定、次の問い
数値的に確認したこと
3つの有限な事例で保存した6つの最適化極値は、独立した厳密有理数による頂点列挙、解析的な対照、主問題・双対問題の証明と一致しています。
結果を解釈できる範囲
合成的に定めた確率と、静的な初回接触の幾何モデルです。これらは条件を満たす許容限界であり、信頼区間ではありません。入射粒子が運ぶエネルギーは、エッチング速度、蓄積された熱、フラックス、材料の収率ではありません。
実際の物理研究に次に必要なもの
材料固有のエッチングを予測する前に、角度とエネルギーの結合情報を取得し、反射、帯電、化学反応、変化する幾何形状を検証する必要があります。
SA-PROC-ETCH-HAR-011 · Angle-energy joint identification · 2026-09-27
ダウンロードには、選定したグラフデータ、キャプション、再描画スクリプトが含まれます。元の記録とハッシュにより、公開図を完了済み研究の結果まで追跡できます。
研究支援 · 図版 · 原稿
研究の問いを、一貫した説明に。
文献や数値結果の整理、科学概念図や図版セットの制作、独自の表紙コンセプトの作成、それらを軸とした原稿の推敲をお手伝いします。