ALD · プロセス推定
供給の影響と反応の影響を切り分ける。
入口の履歴、表面応答、学習に使わなかったパルス条件での予測をつなぎます。
フィットされた第2速度倍率
数値と比較の詳細
差分 = 比較値 − 基準値。表示用に丸めています。元のデータは保持しています。
- モデルの真値
- 1
- 上限に達したフィット値
- 3
フィット値が設定した上限に達しています。この差は物理的な反応速度の妥当性を検証するものではありません。
図全体を開く 研究の問い
推定した反応速度は、どのような場合に誤った供給モデルや観測モデルの影響を吸収するのでしょうか？
アプローチ
無次元の水の半反応モデルで、単一極の入口応答と有限の貯留を持つ入口応答を比較します。学習条件で選択した4つの適合結果はいずれも単一極の供給モデルを用い、取得区間での平均化、または意図的に誤指定した点観測を適用します。学習に使わなかった二つのパルス履歴で予測を確認します。
比較からわかること
押さえておきたい三つのこと。
- 01
同じ入力指令でも、貯留は入口の時間履歴と供給総量の両方を変えます。転化率の増加を時間履歴だけに帰することはできません。
- 02
バッファモデルを真値として生成した場合、推定された第2の反応速度は設定した上限3に達します。制約付きの解が得られても、適合した機構が物理的に正しいことにはなりません。
- 03
バッファモデルを真値として生成し、平均観測を用いた場合、学習に使わなかった条件での最大のスケール調整RMSEは約0.1111です。モデルが一致する無雑音の復元対照では約9.83 × 10⁻¹²です。これらは数値比較であり、センサーの精度ではありません。
根拠、仮定、次の問い
数値的に確認したこと
保存した909件の化学計算記録は、すべて独立した収支と台帳の監査を通過しました。別の定式化と高精度の参照計算により、対照・真値・予測からなる23組について69回のペア比較を行いました。
結果を解釈できる範囲
壁面とセンサーの仮定を固定した、無次元・無雑音・完全混合の半反応モデルです。転化率は膜厚や1サイクル当たりの成長量ではありません。スケール調整RMSEは百分率でもノイズ推定値でもありません。
実際の物理研究に次に必要なもの
物理的な反応定数を解釈する前に、化学種ごとの入口履歴とデータ取得応答を独立に測定し、対応する実行識別子を保持する必要があります。
SA-PROC-ALD-TRANSIENT-002 · Delivery-buffer comparison, ALD016 · 2026-09-18
ダウンロードには、選定したグラフデータ、キャプション、再描画スクリプトが含まれます。元の記録とハッシュにより、公開図を完了済み研究の結果まで追跡できます。
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