Grabado HAR · Identificabilidad
Las mismas distribuciones marginales pueden contar historias diferentes.
Muestre qué queda sin identificar al separar las distribuciones de ángulo y energía.
Anchura del intervalo admisible
Valores y detalles de comparación
Diferencia = valor de comparación − valor de referencia. Se redondea para mostrar; se conservan los datos originales.
- Solo distribuciones marginales
- 15 eV
- Con una observación conjunta
- 6,25 eV
Energía por partícula incidente. Anchura entre los límites admisibles; no es un intervalo de confianza ni una mejora de la velocidad de grabado.
Abrir la figura completa LA PREGUNTA
¿Cuánta energía entregada al fondo puede inferirse a partir de distribuciones separadas de ángulo y energía?
EL ENFOQUE
Una zanja estática absorbente, con relación profundidad/anchura de 10, utiliza tres categorías angulares y tres energéticas. Los límites exactos para tablas finitas comparan todas las distribuciones conjuntas admisibles, primero solo con las marginales y después con una observación hipotética de una celda conjunta.
QUÉ REVELA LA COMPARACIÓN
Tres ideas clave.
- 01
Ambas tablas conjuntas extremas conservan la misma fracción de recuento de llegada directa al fondo del 56.25% y la misma energía incidente media de 60 eV. Aun así, las energías entregadas difieren.
- 02
Una observación hipotética de una celda conjunta reduce el intervalo admisible a 32.5–38.75 eV por miembro de la población incidente.
- 03
La hipótesis de independencia da 33.75 eV, pero su tabla conjunta incumple la observación añadida. Que un valor escalar esté dentro del intervalo no hace admisible el modelo subyacente.
Pruebas, hipótesis y la siguiente pregunta
Qué se comprobó numéricamente
Los seis extremos de optimización guardados para tres casos finitos coinciden con una enumeración independiente de vértices mediante aritmética racional exacta, un control analítico y certificados primales/duales.
Hasta dónde llegan los resultados
Probabilidades sintéticas prescritas y geometría estática de primer contacto. Son límites admisibles, no intervalos de confianza. La energía de los proyectiles entregada al fondo no es velocidad de grabado, calor depositado, flujo ni rendimiento del material.
Qué necesitaría después un estudio físico
Obtenga información conjunta de ángulo y energía y cualifique los modelos de reflexión, carga, química y evolución geométrica antes de predecir el grabado de un material específico.
SA-PROC-ETCH-HAR-011 · Angle-energy joint identification · 2026-09-27
La descarga contiene datos seleccionados para las gráficas, pies de figura y un script para regenerarlas. Los registros de origen y los hashes permiten rastrear las figuras públicas hasta el estudio terminado.
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