PVD · 입자 수송
같은 주변분포, 다른 도달 양상.
각 방향을 따로 요약하면 가려지는 각도 간 의존성을 드러냅니다.
바닥 최초 접촉 비율
수치 및 비교 상세
변화량 = 비교값 − 기준값. 화면 표시만 반올림하며 원본 데이터는 유지합니다.
- 대각선 분포
- 53.333333333333336 %
- 반대각선 분포
- 93.33333333333333 %
동일하게 회전된 구조. 개구 진입을 조건으로 한 입사 집단 중 비율이며, 증착 두께가 아닙니다.
전체 그림 열기 연구 질문
두 축의 주변분포가 모두 같은 두 각도 분포라도 회전된 구조에서 최초 접촉 위치는 달라질 수 있을까요?
접근 방법
9개 방향에 지정한 3가지 확률분포를 고정된 기하 구조의 최초 접촉 모델에 적용합니다. 축에 정렬된 구조와 회전된 구조의 응답을 비교한 뒤, 관측 행을 추가하며 유한 기저의 행렬 랭크를 정확히 분석합니다.
비교를 통해 드러난 점
핵심 발견 세 가지.
- 01
대각 분포와 반대각 분포는 두 축의 전체 주변분포가 같습니다. 축에 정렬된 종횡비 1 구조에서는 둘 다 바닥 최초 접촉 비율이 66.67%입니다.
- 02
구조를 회전하면 두 응답이 53.33%와 93.33%로 갈라집니다. 분모는 개구부로 유입된다는 조건을 만족하는 입사 입자군입니다.
- 03
관측을 누적할 때 행렬 랭크는 1, 5, 6, 7, 7, 8, 8, 9입니다. 추가한 신호 중 두 개는 중복 정보이며, 관측이 늘어도 독립적인 정보가 항상 늘어나는 것은 아닙니다.
근거와 가정, 다음 연구 질문
수치적으로 확인한 내용
정확한 기하 계산과 랭크를 입증하는 독립 계산으로 저장된 유한 모델을 확인했습니다. 봉인된 연구 단위에는 각 Python 실행 모드에서 결정론적 검사 895건과 손상된 근거 자료의 거부 검사 15건을 통과한 기록이 있습니다.
결과를 해석할 수 있는 범위
9개 방향과 고정된 기하 구조를 지정한 모델입니다. 최초 접촉은 증착 두께를 뜻하지 않습니다. 유한 기저의 랭크로 연속 각도 분포의 유일성, 실제 챔버 교정 또는 재료별 성장을 입증할 수 없습니다.
실제 물리 연구에 추가로 필요한 것
실제 공정의 분포를 추론하려면 먼저 검출기 응답과 각도 분해능, 서로 대응하는 실제 측정을 연결해야 합니다.
SA-PROC-DEP-PVD-012 · Angular observability, unit 008 · 2026-10-02
다운로드에는 선별한 그래프 데이터, 캡션과 재작성 스크립트가 포함됩니다. 원본 기록과 해시를 통해 공개 그림이 완료된 연구의 어떤 결과에 근거하는지 추적할 수 있습니다.
연구 지원 · 그림 · 원고
연구 질문을 완성된 설명으로.
문헌과 수치 결과를 정리하고, 과학 개념도와 그림 세트, 자체 표지 콘셉트를 제작하며, 이를 중심으로 원고를 다듬는 작업을 도와드립니다.